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          電子工業幹凈廠房空氣汙染和空調透風設計標準

          2019/11/21 10:54:32  起源:網絡  宣布者:小A

          前往

          電子工業幹凈廠房空氣汙染和空調透風設計標準

          1.1普通劃定

          1.1.1 幹凈廠房內各幹凈室(區)的空氣幹凈度品級,應依據電子産品臨盆工藝特色和幹凈室型式肯定。

          1.1.2 氣流流型應依據各幹凈室(區)空氣幹凈度品級和電子産品工藝特色的分歧請求選用。

          1.1.3 有以下情形之一者,汙染空調體系宜離開設置:

          1 運轉班次或應用時光分歧;

          2 臨盆過程當中披發的物資對其他工序、設備穿插凈化,對産品德量或操作人員安康、平安有影響;

          3 對溫、濕度掌握請求差異大;

          4 幹凈室(區)內工藝設備發燒相差差異;

          5 汙染空調體系與普通空調體系;

          6 體系風量過大的汙染空調體系。

          1.1.4 幹凈室(區)內的溫度、絕對濕度應相符本標準第3.2.3條的劃定。

          1.1.5 幹凈室(區)內的新穎空氣量應相符現行國度尺度《幹凈廠房設計標準》GB 50073的有關劃定。

          1.1.6 幹凈室(區)與四周的空間應堅持必定的靜壓差,靜壓差應相符以下劃定:

          1 各幹凈室(區)與四周空間的靜壓差應按臨盆工藝請求肯定;

          2 分歧品級的幹凈室(區)之間的靜壓差應大于等于5Pa;

          3 幹凈室(區)與非幹凈室(區)之間的靜壓差應大于5Pa;

          4 幹凈室(區)與室外的靜壓差應大于10Pa。

          1.1.7 幹凈室(區)保持靜壓差值所需的壓差風量,宜采取裂縫法或換氣次數法肯定。

          1.1.8 送風、回風和排風體系的啓閉聯鎖、掌握請求,應相符現行國度尺度《幹凈廠房設計標準》GB 50073的有關劃定。

          1.1.9 非持續運轉的幹凈室,可依據臨盆工藝請求設置值班送風,並應停止汙染處置。

          1.1.10 幹凈室(區)的打掃方法應依據幹凈廠房的範圍、空氣幹凈度品級等身分肯定。幹凈室(區)宜采取挪動式高效真空吸塵器。關於空氣幹凈度品級爲1~5級的幹凈室宜設置集中式真空吸塵體系,幹凈室內的吸塵體系管道應暗敷。

          條則解釋

          1.1.3 幹凈廠房中汙染空調體系的劃分準繩,本條推舉6種情形宜采取“離開設置”。研討剖析汙染空調體系“離開設置”的根據,大體可歸結爲:電子産品臨盆工藝特色或請求,便利運轉治理,削減能量消費,避免穿插凈化和由此帶來的影響産品德量或任務人員安康或影響運轉平安等多項身分。本條中的第1、3、4款,重要是爲便利運轉治理、削減能量消費作出的劃定。第2款是爲避免穿插凈化,確保電子産品德量和掩護任務人員安康和平安運轉作出的劃定。第5款是爲了便利運轉治理、削減設備投資和便利裝置調試等作出的劃定。第6款是爲了便利運轉治理、削減風管尺寸等身分作出的劃定。

          1.1.5 幹凈室(區)內的新穎空氣量,應相符現行國度尺度《幹凈廠房設計標準》GB 50073—2001中第6.1.5條的劃定。

          1.1.6、1.1.7 幹凈室(區)與四周的空間必需堅持必定的靜壓差,這是爲了確保幹凈室(區)的正常任務狀況或空氣均衡臨時遭到損壞時,空氣流只能從空氣幹凈度品級高的房間或區域流向空氣幹凈度品級低的房間或區域,使幹凈室(區)內的空氣幹凈度不會遭到凈化空氣的攪擾。

          因為電子産品臨盆工藝各不雷同,是以各類幹凈室(區)所請求的空氣幹凈度分歧;各個房間或區域披發的凈化物品種、發塵量分歧,所以各類幹凈室(區)之間的靜壓差只能隨産品臨盆工藝請求肯定。

          靜壓差值的巨細應選擇恰當。若壓差值選擇太小,幹凈室的壓差很輕易被損壞,幹凈室(區)的幹凈度就會遭到影響。若壓差值選擇過大,就會使汙染空調體系的新風量增大,空調負荷增長,同時使中效、高效過濾器應用壽命延長,故很不經濟。別的,當室內靜壓差值高于50Pa時,門的開關就會遭到影響。

          國際上現行的幹凈室尺度中都明白地劃定,爲了堅持幹凈室(區)的空氣幹凈度品級免受外界的攪擾,關於分歧品級的幹凈室之間、幹凈室與相鄰的無幹凈度級其余房間之間都必需保持必定的靜壓差。固然各個國度劃定的最小壓差值不盡雷同,但最小壓差值都在5Pa以上。

          實驗研討的成果註解,幹凈室內正壓值受室外風速的影響,室內正壓值要高于室外風速發生的風壓力。當室外風速大于3m/s時,發生的風壓力接近5Pa;若幹凈室內正壓值等于或小于5Pa時,室外的凈化空氣就有能夠滲漏到室內。是以,幹凈室與室外相鄰時其最小的靜壓差值應當大于5Pa,所以劃定幹凈室與室外的最小壓差爲10Pa。

          1.1.8 幹凈室(區)的送風、回風和排風體系的啓閉聯鎖、掌握請求,應相符現行國度尺度《幹凈廠房設計標準》GB 50073—2001中第6.2 4條的劃定。

          1.2 氣流流型和送風量

          1.2.1 氣流流型的設計,應相符以下請求:

          1 氣流流型應知足産品臨盆工藝和空氣幹凈度品級的請求。空氣幹凈度品級爲1~5級時,應采取單向流或混雜流;空氣幹凈度品級爲6~9級時,宜采取非單向流;

          2 幹凈室任務區的氣流流速應知足臨盆工藝和任務人員安康的請求。

          1.2.2 幹凈室的送風量,應相符現行國度尺度《幹凈廠房設計標準》GB 50073的有關劃定。

          1.2.3 幹凈室(區)所需的知足空氣幹凈度品級的幹凈送風量和藹流流型,宜按表7.2.3盤算。

          電子工業幹凈廠房空氣汙染和空調透風設計標準

          條則解釋

          1.2.1 氣流流型切實其實定應充足斟酌的身分有:知足空氣幹凈度品級請求、一次建立投資、運轉保護費、空氣過濾器等改換便利等。

          本條推舉的幹凈室(區)內氣流流型的設計請求,是基于數十年電子工場幹凈廠房任務理論的經歷總結,並聯合國際尺度化組織ISO/TC 209技術委員會曾經公布、實行的《幹凈室及相幹受控情況尺度》IS0 14644—1、IS0 14644-4中有關氣流流型的請求和最近幾年來國際建成投産的電子工業幹凈廠房所采取的氣流流型的現實狀態制訂的。圖4是IS0 14644-4中對幹凈室氣流流型的圖示。表19是一些電子工業幹凈廠房的氣流流型。上述情形註解:空氣幹凈度品級爲1~5級時,根本上采取單向流或混雜流,空氣幹凈度品級爲6~9級時,根本上采取非單向流,且混雜流流型可運用于壹切各類空氣幹凈度品級的幹凈室。

          1.2.2 幹凈室的送風量是包管空氣幹凈度品級的送風量,應相符現行國度尺度《幹凈廠房設計標準》GB 50073—2001中第6.3.2的劃定。

          1.2.3 制訂本條的根據是:

          1 表20是依據國際尺度化組織ISO/TC 209技術委員會編寫、宣布的《幹凈室及相幹受控情況尺度》ISO 14644—4《幹凈室的設計、建造和試運轉》中的表B.2微電子幹凈室的實例,列出了空氣幹凈度品級爲2~8級的氣流流型、幹凈送風量的數據。

          注:在制訂最好設計前提前,應當具體劃定並約定與ISO品級有關的占用狀態。

          表列的氣流情勢表現該品級幹凈室的氣流特征U爲單向流,N爲非單向流,M爲混雜氣流(U和N組合)。均勻氣流速度是平日劃定幹凈室內單向流的辦法。對單向流速度的請求取決于部分的參數,如幾何圖形和熱參數。紛歧定是過濾器的面速度。每小時換氣次數是劃定非單向流和混雜氣流的辦法。建議的換氣次數是指3.0m的室高度。應斟酌不透水的樊籬技術。凈化源和待掩護的區域要有用地分離隔,可以用物理或氣流樊籬。

          2 最近幾年來,一些8″、12″集成電路芯片臨盆用幹凈廠房中重要臨盆設備設置裝備擺設微情況裝配時,幹凈室采取Ballroom+微情況時,其幹凈廠房內幹凈區的空氣幹凈度品級爲5級或6級,氣流流型爲非單向流,幹凈臨盆區送風普通選用FFU,吊頂上FFU的滿布率爲25%閣下;微情況內的空氣幹凈度品級爲2~4級。

          3 單向流幹凈室的均勻風速上限值,在主動化、機械化水平很高的幹凈室(區)內根本無人的情形下,有的幹凈室(區)僅采取0.11m/s。

          1.3 汙染空調體系

          1.3.1 幹凈廠房中的汙染空調體系可分爲集中式汙染空調體系和疏散式汙染空調體系。

          汙染空調體系的型式應依據幹凈廠房的範圍、空氣幹凈度品級和産品臨盆工藝特色肯定。幹凈室(區)面積較小或只要部分請求汙染時,宜采取疏散式汙染空調體系。

          1.3.2 幹凈廠房的幹凈室(區)送風方法可分爲集中送風、地道送風、風機過濾器機組送風等。應依據幹凈室(區)應用功效和下降能量消費的請求,經技術經濟比擬,采取運轉經濟、勤儉動力的送風方法。

          1.3.3 汙染空調體系新風的室外吸進口地位,應闊別本修建或其他修建物排放無害物資或可燃物的排氣口。

          1.3.4 多套汙染空調體系同時運轉或較大型電子工業幹凈廠房的汙染空調體系的新風,應集中處置。

          1.3.5 汙染空調體系設計應公道應用回風,但以下情形不得回風:

          1 在臨盆過程當中向車間內披發的無害物資跨越劃定時;

          2 采取部分處置不克不及知足衛生請求時;

          3 對其他工序有傷害或不克不及防止穿插凈化時。

          1.3.6 汙染空調體系需設置電加熱時,應選用不産塵的電加熱器,且應安排在高效過濾器的優勢側,並應采用平安掩護辦法。

          1.3.7 汙染空調體系的電加濕器應采用平安掩護辦法。

          1.3.8 依據氣候前提,存在冷凍能夠的地域,新風體系應采用防凍掩護辦法。

          條則解釋

          1.3.1 電子工業幹凈廠房中的汙染空調體系的重要情勢爲集中式和疏散式,圖5是幾種疏散式汙染空調體系的典範圖示。從圖中可見,各類情勢各具特色和實用性,在現實運用中,應依據詳細工程項目標幹凈室範圍、空氣幹凈度品級和電子産品臨盆工藝特色及其請求肯定,同時斟酌運轉經濟和下降能量消費。

          電子工業幹凈廠房空氣汙染和空調透風設計標準

          1.3.2 電子工業幹凈廠房,特別在範圍較大的集成電路芯片臨盆和TFT-LCD臨盆用幹凈廠房的送風方法有集中送風、地道送風和風機過濾機組送風等類型,各類送風方法各具特色和實用性,圖6是各類送風方法的表示圖。圖6中:(a)集中送風體系(CentralSystem),室外新風經新風處置裝配(MAU)後,與經表冷器降平和風機增壓後的回風混雜,經由過程高效過濾器送至幹凈臨盆層。(b)地道送風體系(Tunnel System),幹凈區的回風經維修區與新風處置(MAU)後的新風混雜後,由輪回空氣處置裝配送入送風止壓箱,經由過程空氣過濾器送入幹凈區。(c)FFU體系,幹凈區回風經表冷器降溫後與處置後新風混雜,經由過程FFU增壓、過濾送入幹凈區。三個體系各有益弊,其選擇重要與電子産品臨盆工藝、能量消費、建立投資等有關,有時也與業主的誌願有關,但最近幾年來在集成電路幹凈廠房中,采取FFU體系者日趨增多。

          電子工業幹凈廠房空氣汙染和空調透風設計標準

          1.3.3 在一些電子産品臨盆過程當中,需應用各類分歧的可燃、有毒氣體或化學品,應用這些物資的臨盆設備或貯存、分派舉措措施都將設置需要的排風裝配,爲此,在這類電子産品臨盆用幹凈廠房的汙染空調體系的新穎空氣吸進口,必需闊別上述排氣口,以確保幹凈室(區)的平安運轉和任務人員身材安康。

          美國消防協會宣布的NFPA318((幹凈室消防尺度》的第3.1.1條劃定,幹凈室的室外空氣吸進口的地位必需防止吸入本修建或裝配發生的可燃氣體或有毒化學品。

          1.3.4 最近幾年在電子工業幹凈廠房中,當設有多套汙染空調體系或幹凈廠房範圍較大時,經常采取新風集中處置的方法,采取這類方法的特色或優勝性重要有:

          1 將送入幹凈室的空氣汙染與熱濕處置分別,有益于下降動力消費;

          2 有益于清除冷熱抵消;

          3 有益于強化對室外新風的處置,在微電子、光電子用幹凈室的送風中,不只請求掌握微粒、溫度、絕對濕度等,還請求去除影響産品德量或下降制品率的份子態化學凈化物,如Na、SOx、NOx、Cl、B等,這些凈化物重要來自室外大氣中。爲此,關於此類幹凈廠房需對室外吸入新穎空氣停止嚴厲處置,經常可以采取淋水法去除大氣中的SOx、NOx和Cl;采取化學過濾器和活性炭過濾器,應用物理吸贊同化學吸附的道理,將低濃度的份子態化學凈化物去除到劃定的濃度請求。圖7是某微電子工業幹凈廠房的新風處置裝配表示圖,采取了11個功效段——兩級加熱、兩級表冷、兩級淋水、四級過濾和一級加濕。

          1.3.5 幹凈廠房汙染空調體系的設計,若能在知足任務人員必需的新穎空氣量的條件下將幹凈室的回風根本獲得公道應用,是最好的運轉方法,如許可以大大下降新風處置所需加熱、冷卻用能量和保送用能量,是幹凈室設計中最好節能辦法。所以本條劃定除三種情形不得回風外,其他均應公道應用回風。

          1.4 空氣汙染設備

          1.4.1 空氣過濾器的選用和安排應相符以下請求:

          1 空氣過濾器應依據空氣幹凈度品級選用;

          2 空氣過濾器的處置風量應小于或等于額外風量;

          3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段;

          4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在汙染空調體系的末尾;超高效空氣過濾器應設置在汙染空調體系的末尾;

          5 統壹汙染空調體系內末尾裝置的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效力應鄰近;

          6 統壹汙染空調體系內末尾裝置的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的應用風量與額外風量之比值宜鄰近;

          7 對化學凈化物有掌握請求的幹凈室(區),在汙染空調體系中應依據情況前提設置化學過濾器或其他去除裝配;

          8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采取不燃或難燃資料制造。

          1.4.2 風機過濾器機組的設置應相符以下請求:

          1 應依據空氣幹凈度品級和送風量選用;

          2 應按幹凈室(區)內臨盆工藝對氣流流型的請求安排;

          3 終阻力時的叠加噪聲及振動應知足臨盆工藝和本標準的劃定;

          4 送風量應能調理;

          5 應便于裝置、維修及過濾器改換。滿布或安排率較高時,外殼強度應知足檢驗請求。

          1.4.3 層流罩的設置應相符以下請求:

          1 幹凈室(區)內等于或嚴于5級的部分汙染區域宜采取層流罩;

          2 層流罩的情勢和進風方法應依據臨盆工藝或設備須要選用;

          3 終阻力時的叠加噪聲及振動應知足臨盆工藝和本標準的劃定;

          4 裝置方法不該影響臨盆操作。

          1.4.4 微情況裝配的設置應相符以下請求:

          1 當臨盆工藝或設備對空氣幹凈度品級、外擾或溫度、絕對濕度有較高請求,且所控區域不大時,宜采取微情況裝配;

          2 微情況裝配宜與臨盆工藝設備配套;

          3 在不影響工藝操作的條件下,應具有靠得住的密閉性,表裏外面應平整、滑膩;

          4 圍擋結構、資料的選用應便利臨盆操作。

          1.4.5 幹表冷器的設置應相符以下請求:

          1 裝置地位、外形尺寸應依據幹凈廠房的立體和空間安排肯定;

          2 迎面風速、構造情勢應依據幹凈室(區)冷負荷、風機過濾器機組所供給的機外余壓肯定;

          3 冷凍水進水溫度,宜高于幹凈室(區)內空氣的露點溫度;

          4 應設置排水舉措措施。

          1.4.6 汙染空調體系空氣處置機組的選用和安排,應相符以下請求:

          1 應有優越的氣密性,漏風率不得大于1%;

          2 全體構造應有足夠的強度和剛度,內外面應平整、滑膩,表面面不該結露;

          3 安排應整潔,並應便于運轉和維修;當多套空氣處置機組爲統壹幹凈室(區)辦事時,宜選用雷同規格的空氣處置機組;

          4 送風機宜采用變頻調速辦法。送風機可按汙染空調體系的總風量和總阻力值停止選擇。盤算體系總阻力時,中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;

          5 應設置排水裝配。

          條則解釋

          1.4.1 電子工業幹凈廠房的汙染空調體系的焦點設備之一的空氣過濾器的準確選用和公道安排,是相當主要的。起首,應遵守我國的相幹國度尺度、行業尺度公道選用空氣過濾器,包含空氣過濾器的處置風量、效力、阻力、材質和檢測辦法(含檢漏辦法)等。其次,依據詳細工程項目標産品臨盆請求和汙染空調體系設計,公道支配各類空氣過濾器的地位,在空調箱中,中效(高中效)空氣過濾器常裝置在正壓段,但最近幾年來爲了堅持表冷器外面幹凈,削減塵粒堆積,已有很多設計中在風機前裝置中效空氣過濾器,圖7就是一例。鑒于今朝我國的相幹尺度中還沒有去除化學凈化物的空氣過濾器或其他去除裝配的尺度,只能參拍照關國際尺度停止選用和安排。

          1.4.2 風機過濾機組(FFU)是將風機與高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)組合在壹路,組成本身可供給推進力的末尾空氣汙染裝配。它由風機、過濾器、機殼和電器掌握等部門構成。FFU的重要技術機能包含風量(普通以斷面風速表現)、余壓、能耗、效力、噪聲和掌握方法等。今朝國際電子工業幹凈室運用FFU愈來愈多,不只在大面積、空氣幹凈度請求嚴厲的單向流或混雜流幹凈室(區)采取,並且在各類用處的、面積不是很大的單向流或混雜流幹凈室(區)中也有運用。今朝在運用中遭到各方面存眷的重要是FFU裝配的經濟性(投資、運轉費)、風量和余壓、噪聲、能耗等機能參數,表21是對國際市場的幾個制作廠家臨盆的FFU裝配的實測機能參數。

          電子工業幹凈廠房空氣汙染和空調透風設計標準

          從表21中數據可見,4種異樣風速、風量下的FFU裝配,余壓、能耗相差較大;單台噪聲均在60dB(A)以下,然則數十台、數百台乃至上千台FFU裝配裝置後的叠加噪聲將是分歧的。據初步預算,爲了到達本標準劃定的單向流、混雜流幹凈室噪聲不跨越65dB(A)(空態)的請求,FFU在斷面風速爲0.45m/s的前提下,其他壓大于100Pa時,單台FFU裝配的噪聲應爲50dB(A)閣下。

          基于上述情形,本條對電子工業幹凈廠房中FFU裝配的設置,提出了5款根本請求。

          1.4.5 幹表冷器是以中溫水爲冷媒的空氣換熱設備,其功效只需求空氣降溫,不需去濕,即無凝聚水析出。在與FFU結合應用時,幹表冷器設置在FFU回風的通道上,其冷媒的進水溫度應盤算肯定;經由過程的風速不宜太高,普通應小于2m/s,幹表冷器的風阻力不該太大,應在30~40Pa閣下。在正常運轉時雖無凝聚水析出,然則爲了平安,最好還應設置滴水盤或其他排水辦法。

          1.4.6 空氣處置機組是電子工業幹凈廠房汙染空調體系的癥結設備,它與溫馨性空調體系中的空氣處置機組比擬,起首應做到氣密性好,既應削減體系中的空氣往外泄露,使能量消費增長,又要避免“機組”四周絕對髒的空氣滲透“機組”,增大各級過濾器的負荷,所以本條劃定機組的漏風率不得大于1%。第二,爲了做到空氣處置機組在運轉保護中,不容易滲漏、披發微粒和便于擦拭、幹凈,不只全體構造應耐壓具有足夠強度和剛度,並且內外面應乎整、滑膩,並應具有較好的保平和防冷橋的機能。第三,幹凈室設計經歷註解,幹凈廠房能量消費大,個中汙染空調體系及其冷熱源設備又是能量消費大戶。送風量大是能量消費大的重要泉源,下降送風量有多項技術辦法,在汙染空調體系曾經肯定送風量的情形下,隨著電子産品臨盆過程當中臨盆工藝設備開啓數目和負荷率的變更,室表裏溫濕度的變更等身分的變更,都能夠須要調理送風量,別的,汙染空調體系中的初、中、高效過濾器的阻力是賡續變更的,爲此送風機采用變頻變速辦法,可調理風機轉數,調理送風量,削減電能消費,是幹凈廠房的主要節能辦法之一。然則送風機的變頻變速辦法的設置,必定要聯合詳細工程項目標現實情形,公道停止選擇。

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